Минпромторг выделил 2,8 млрд рублей на разработку кластерной линии фотолитографии

Статьи и обзоры

Все статьи

Технологии

Оборудование и ПО

Минпромторг выделил 2,8 млрд рублей на разработку кластерной линии фотолитографии

версия для печати

12.12.2025

Комплектующие изделия и материалы, которые исполнители будут использовать, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей

Как выяснил CNews, Минпромторг выделил 2,8 млрд руб. на разработку кластерной линии фотолитографии для изготовления интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм. Тендер на эти работы был опубликован на портале госзакупок в конце ноября 2025 г.

Согласно техзаданию, к 31 октября 2030 г. в России должен быть создан опытный образец кластерной линии фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином комплексе. Она предназначена для обработки слоев фоторезиста в субмикронной литографии при изготовлении интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм с топологическими нормами до 180-130 нм.

Установка должна обрабатывать не менее 60 пластин в час, следует из техзадания. Срок ее службы не должен быть менее 10 лет.

В состав кластерной линии фотолитографии должен будет войти комплекс оборудования: блоки обработки, а также нанесения фоторезиста и антиотражающего покрытия, блоки проявления фоторезиста. Помимо этого, линия будет содержать блок термообработки, модуль загрузки и выгрузки пластин и т.д.

Комплектующие изделия и материалы, которые исполнители будут использовать, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей, подчеркивает ведомство в техзадании.

Исполнитель также должен будет определить стоимость и сроки освоения серийного производства такой линии с учетом общего состояния рынка потенциальных потребителей.«Проект предполагает разработку не самого литографа, а критически важного кластерного комплекса для всех подготовительных и заключительных операций с фоторезистом, — пояснил CNews Александр Тимошенко, глава ООО «Троичные Технологии». — Такая автоматизированная линия, объединяющая нанесение слоев, термообработку и проявление в единый герметичный контур, предназначена для резкого увеличения скорости обработки пластин, чистоты производства и снижения брака».

Подписывайтесь на наши новости в Telegram: https://t.me/idexpert

Читайте нас на VK: https://vk.com/idexpert_ru

Источник: CNews

Рейтинг статьи

Оставить комментарий

Возврат к списку

Материалы по теме:

Статьи и обзоры

RFID технология на складах ТЭК в условиях Севера
RFID повысила эффективность операций и сократила время пребывания сотрудников вне помещений
ГК «Силтэк»: «Делать много, делать качественно и с лучшими характеристиками»
Об истории компании "Силтэк", её продуктах и планах на будущее
Третьяковка внедряет RFID технологию
RFID технология позволяет обеспечить точность прослеживания основных средств
Об истории RFID
От идентификации «свой-чужой» - до современных систем прослеживания
Европа удваивает производство полупроводников
Евросоюз принял закон о чипах для снижения зависимости от азиатских производителей

Новости рынка и технологий

RFID считыватели Chainway помогают учитывать имущество в Управлении делами Губернатора Московской области
Решение российского интегратора ВИАНТ на основе RFID технологий от Chainway позволило сократить время, повысить точность проведения инвентаризации и обеспечить отслеживание перемещения основных средств
Завод ISBC выпустил юбилейный тираж «Подорожника» в честь 15-летия проекта
Завод ISBC в Зеленограде, обладающий мощностью до 4 миллионов изделий в месяц, изготавливает транспортные карты «Подорожник» с 2014 года
«Байкал Электроникс» и РЕГЛАБ заключили миллиардный контракт на поставку микроконтроллеров Baikal U-1000
Встраивание микроконтроллеров Baikal-U в продукцию РЕГЛАБ станет важным шагом на пути к полному импортозамещению ключевых компонентов российских систем промышленной автоматизации
Студент МИЭТ – целевик Микрона пройдет обучение в Пекинском технологическом институте
В 2025 году Микрон заключил 13 целевых договоров на обучение в бакалавриате и магистратуре НИУ МИЭТ, МГТУ им. Н.Э.Баумана, МГТУ «Станкин», ВШЭ, РХТУ им. Д.И.Менделеева, МИРЭА и Московский политех
RFID-считыватели SAUK интегрированы по MQTT с АСУ ТП и IoT
Теперь зеленоградская электроника, уже поддерживающая Modbus, позволяет легко заменить зарубежное оборудование на транспорте, производствах и в системах IoT

Продукты автоматической идентификации

RST-BOOKOS-HF Настольный HF RFID считыватель для работы на частоте 13.56 МГц	Chainway UR4 4-портовый стационарный UHF RFID считыватель	Chainway C66 UHF Надежный мобильный компьютер со встроенным RFID модулем
Chainway C61 Надежный терминал сбора данных нового поколения	Chainway R1 Высокопроизводительный считыватель / записывающее устройство с возможностью считывания в HF и UHF диапазонах	DASCOM DC-7600 Карточный принтер с технологией ретрансферной печати
UHF RFID метка CandyTag UHF RFID-метка для маркировки товаров для производственных и логистических нужд	Chainway U300 Стационарный RFID-считыватель (Android 11)	RST-INVENTORY ПО для проведения инвентаризации с помощью мобильного RFID считывателя